VPM-5傳感器提供良好性能，并通過(guò)將可用的電導(dǎo)率真空測(cè)量?jī)x的可用測(cè)量范圍擴(kuò)展到1-3年來(lái)建立了新標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)，再加上新型的準(zhǔn)確數(shù)字信號(hào)處理架構(gòu)和創(chuàng)新測(cè)量算法。

• 超寬的測(cè)量范圍為9年

• 通過(guò)S4-Connect USB程序員簡(jiǎn)化配置

• 0-10 VDC可編程電壓輸出

• 數(shù)字RS-232或RS485接口

• 穩(wěn)定Zero漂移補(bǔ)償

• 可選的固態(tài)設(shè)定點(diǎn)繼電器用于過(guò)程控制

• 磁滯1×10-3至10 MBAR（ISO19685：2017）：1％

• 滯后10至1333 MBAR（ISO19685：2017）：0.1％

• 模擬輸出分辨率：16位（150 µV）

• 模擬輸出更新率：124 Hz

• 響應(yīng)時(shí)間（ISO 19685：2017）：<20 ms

• 溫度補(bǔ)償：+10至+50°C

• 固態(tài)繼電器設(shè)定點(diǎn)范圍：5×10-6至1333 MBAR（3.75×10-6至1000 Torr）

• 固態(tài)繼電器接觸評(píng)級(jí)：50 V，100 MARMS / MADC

環(huán)境條件:

• 操作環(huán)境溫度：-20至+50°C

• 介質(zhì)溫度：-20至+50°C

• 存儲(chǔ)環(huán)境溫度：-40至+120°C

• 烘烤溫度（非操作）：+120°C

• 安裝位置：任意

• 濕度，IEC 68-2-38：98％，無(wú)調(diào)

電源:

• 電源電壓：12-30 VDC

• 功耗：240 MW（max）

• 反極性保護(hù)：是

• 電壓保護(hù)：是

• 內(nèi)部保險(xiǎn)絲：100 mA（可回收）

• 質(zhì)譜儀

• 掃描電子顯微鏡

• 爐熱處理

• 玻璃，光學(xué)，工具等的PVD涂層

• 制冷服務(wù)和制造

• 半導(dǎo)體處理